מפרט טכני של מכונת תחריט קרן יון

1. דרגת הוואקום האולטימטיבית של תא התחריט: פחות או שווה ל-9.0×10-5Pa;
2. חומרי תחריט: סיליקון, קוורץ, תרכובות III.-V, קרמיקה ומתכות שונות, סרטים קשיחים לא מתכתיים וכו';
3. קצב תחריט: גדול או שווה ל-10 ננומטר ~ 200 ננומטר לדקה (תלוי בחומר התחריט ובתהליך הספציפיים);
4. מקור יון: מקור יונים DC עגול בקוטר Φ150 מ"מ;
5. טווח אנרגית יון Ar+: 100~1000 eV;
6. צפיפות קרן יונים: 0~1 mA/cm2.